金融界2024年10月17日音讯，国家知识产权局信息数据显现，深圳市艾柯森自动化设备有限公司获得一项名为“芯片蚀刻清洗机”的专利，授权公告号CN 221841808 U，请求日期为2024年2月。
专利摘要显现，本实用新型触及半导体制作技术领域，公开了一种芯片蚀刻清洗机，包含：提篮驱动组件、提篮组件和清洗组件，所述提篮驱动组件包含提篮臂、驱动电机和传动组织，所述提篮臂设置于所述传动组织上，所述提篮臂在驱动电机的带动下在传动组织上沿N形轨迹往复位移，所述N形轨迹包含处于中心的榜首轨迹和分设于所述榜首轨迹两头的第二轨迹和第三轨迹；所述提篮组件包含榜首提篮板和若干个设置于所述榜首提篮板上的芯片盒，所述芯片盒用于安放待清洗芯片，所述榜首提篮板上对应所述芯片盒区域设有用于清洗液或化学药剂流转的躲避孔。本规划处理了芯片酸洗、芯片水洗和芯片甩干工艺流程中需求人工联接的问题，进步了整个芯片制作工艺流程的功率。
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