光刻机是半导体制作中的中心设备,被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”。其作用是经过光刻工艺将集成电路设计图形转移到硅片上,构成芯片的物理结构。光刻工艺决议了芯片的制程精度(如7nm、5nm等),直接影响芯片功能和集成度。
光刻机使用光源(如紫外线、极紫外光)经过掩模版(包含电路图画)照射到涂有光刻胶的硅片上,光刻胶在曝光后产生化学变化,再经过显影、蚀刻等过程构成电路结构。高精度光刻机(如EUV光刻机)需处理光源安稳性、光学体系精度(如反射镜)、精细运动操控等技能难题。
光刻机产业链掩盖上游零部件、中游设备集成及下流使用,技能壁垒极高。以下为国内相关上市公司及其出资亮点:
-中心亮点:经过子公司参股上海微电子(持股10.78%),后者是国内仅有具有光刻机整机研制才能的企业,已完结90nm制程光刻机量产,并持续向更先进节点打破。
获益于国产代替方针,上海微电子在国内商场占有率超80%,未来有望添补高端光刻机空白。
- 技能优势:出产光刻机曝光物镜用大口径光学器材(直径达300mm),打破传统透镜尺度和精度约束,直接服务于光刻机中心光学体系。
- 产品布局:供给光刻机配套的大孔径光学镜头和平行光源体系,使用于光刻机检测及曝光环节,技能掩盖半导体制作全流程。
- 国产代替:公司产品已进入国内光刻机供应链,获益于国产设备收购份额提高。
- 世界协作:子公司UCM AG为荷兰ASML供给精细整理洗刷设备,技能获世界巨子认可,表现公司在高端设备配套范畴的竞争力。
- 国产代替潜力:整理洗刷设备是光刻机保护要害环节,未来或向国内光刻机厂商扩展协作。
- 中心技能:出产光刻机激光光学元器材(如光场匀化器),使用于曝光体系,技能门槛高且国产化率低。
- 职业位置:国内少量能供给光刻机中心激光元件的企业之一,获益于国产光刻机研制加快。
-产品使用:真空与气体产品用于光刻机制作,客户包含ASML等世界厂商,具有全球化供应链才能。
- 国产化机会:国内光刻机设备商对高纯度资料需求提高,公司有望扩展商场份额。
- 技能协作:与上海微电子协作开发光刻机冷却体系,但需注意其销售额占比极低(缺乏0.003%),事务规划较小,短期成绩奉献有限。
- 资料打破:研制KBBF晶体等激光光源要害资料,用于光刻机准分子激光器,技能添补国内空白。
1. 国产代替加快:荷兰扩展光刻机出口约束,倒逼国内产业链自主化,方针支撑力度加大(如《首台套严重技能装备目录》归入国产光刻机)。
2. 技能打破预期:国产65nm光刻机已完结打破,未来或向更高制程演进,相关零部件厂商首先获益。
3. 商场需求微弱:全球晶圆厂扩产带动设备开支增加,光刻机需求持续提高,国内厂商有望分羹千亿商场。
危险提示:部分公司事务占比较低(如海立股份)、技能研制没有抵达预期、世界供应链动摇等需要点重视。
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