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近日,国家知识产权局公布了一项由湖北江城芯片中试服务有限公司申请的专利,名为‘一种半导体结构的制造方法’。该专利通过创新的制造工艺,成功实现了半导体结构中第二凹槽底部的平整化,为提升芯片性能提供了新的技术路径。这一突破不仅彰显了我国在半导体领域的研发实力,也为全球芯片制造技术的发展注入了新的活力。
据悉,该专利的申请日期为2023年8月,公开号为CN119495565A。专利摘要显示,该制造方法采用等离子体干法刻蚀工艺,在刻蚀过程中通过调整射频信号的频率和占空比,确保了第二凹槽底部的平整度。这一创新工艺不仅提高了芯片的制造精度,还大大降低了生产所带来的成本,为半导体行业的可持续发展提供了重要参考。
湖北江城芯片中试服务有限公司成立于2021年,总部在武汉市,是一家专注于研究和试验发展的高科技企业。公司注册资本1000万元人民币,成立以来已累计申请专利74项,展现出强大的研发能力和市场潜力。此次专利的获批,进一步巩固了该公司在半导体制造领域的技术领先地位。
随着全球半导体产业的加快速度进行发展,芯片制造技术的创新已成为各国竞争的焦点。湖北江城芯片中试服务有限公司的这一专利,不仅为我国半导体行业树立了创新标杆,也为全球芯片制造技术的升级提供了重要参考。未来,随着更多类似技术的突破,芯片性能将逐步提升,为AI、物联网等领域的应用带来更大的发展空间。
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