光刻机整机自主可控是大势所趋
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光刻机整机自主可控是大势所趋

2025-05-11 新闻中心

  目前国际形势下,科技产业自主可控重要性将更加凸显,而光刻机作为当下科技赛道亟待突破的细分方向,如果出现重大技术突破,整个赛道有望获得市场关注,近期机构对光刻机行业也保持一定关注度,其基本面情况值得投资者关注和重视。

  光刻工艺是集成电路制造的关键步骤,直接决定了集成电路制造的微细化水平,光刻工艺是对光刻胶进行曝光和显影形成三维光刻胶图形的过程,集成电路整个制作的完整过程中,光刻步骤至少要重复10次,一般要重复25-40次。光刻机是光刻工艺乃至整个芯片制作的完整过程中的核心设备,是一个高度复杂、精密的系统,主要由光源、光路系统及物镜、双工件台、测量系统、聚焦系统、对准系统等部分所组成,总的来看,光刻工艺是集成电路制造的关键步骤,光刻机是半导体工业皇冠上的明珠。

  光刻机作为所有半导体制造设备中难度最高、最难突破的一环,占晶圆生产设备总市场的24%。从UV到EUV,光刻机经历了五代发展和进化,每次光源的改进都明显提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。根据前瞻研究院数据,光刻机由光源、曝光和双工作台三大核心系统组成,一台EUV光刻机内含有超10万个精密零部件,全球供应商超过5000家。其中光学系统最重要的子系统之一,约占整体光刻机成本的30%。

  根据观知海内信咨询,2020年全球光刻机市场规模为170.9亿美元,预计2024年将达315亿美元。光刻机行业属于寡头垄断格局,市场占有率集中,ASML出货量市占率63%,营收市占率81%。在高端光刻机(EUV、ArFi、ArF)市场,ASML的出货量占据优势,市占率分别为100%/95%/87%。而Nikon和Canon则凭借价格上的优势占据中低端光刻机(KrF、i-line)市场。 美国联合荷兰对我国半导体产业实施多轮制裁,目前来看,EUV完全对我国禁售,ASML的2000i及以上的浸没式光刻机的出口许可证也于2024年年初失效,稍低端的1980i和1970i的出口则需要荷兰政府的许可证,实施光刻机整机自主可控是大势所趋。

  此外,BIS于2022年年底将国产光刻机厂商上海微纳入实体清单,基本不可能从美国获得《出口管理条例》所列物项和技术,而目前成熟光刻机的一些核心零部件依赖美国供应商,因此国产光刻机的零部件供应链的国产化建设也至关重要。

  1966年,中国成功制造出第一台接触式光刻机,90年代初期,国内光刻机设计制造一直停滞不前,国内的光刻机仍然主要依赖进口。2002年,光刻机被正式列入“863重大科学技术攻关计划”,同时上海微电子装备有限公司成立,并于2007年宣布研制出90nm工艺的分布式投影光刻机。 2008年国家成立“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”(02专项),在02专项的支持下,一批相关企业和科研机构在曝光光学系统、双工件台、光刻胶等关键技术和零部件方面取得了突破。2016年上海微电子90nmArF光刻机SSA600系列实现出货。整体而言,国内光刻机产业慢慢的提升,国产替代空间广阔。

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  在5月9日举行的俄罗斯纪念苏联伟大卫国战争胜利80周年阅兵式上,大量俄军武器装备在红场亮相引发各界高度关注。从S-400防空导弹系统、“伊斯坎德尔”战术导弹与“亚尔斯”洲际弹道导弹等传统大杀器,到首次亮相的“天竺葵-2”无人机,这些装备集中体现了哪些特点?

  在中国4月4日起对7类中重稀土实施出口管制后,国际稀土市场行情报价出现罕见飙涨,创历史上最新的记录。美国企业感受到冲击,特斯拉“擎天柱”人形机器人量产计划已受波及。不仅如此,中国还削减了大豆和猪肉的进口数量,美国消费者还面临着多种中国产品涨价和缺货。

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