电子特气即电子特种气体，是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等电子工业生产制作的完整过程中不可或缺的基础和支撑性材料之一。

  电子特气大范围的应用于太阳能电池片、半导体发光二极管(LED)、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板生产的全部过程中的薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，在关键制程上起到很重要的作用。在集成电路制造领域，电子特气是仅次于硅片的第二大制造材料，占晶圆制造成本的 13%，其质量对电子元器件性能有重要影响。

  电子特气作为电子化学品中用量较大的分支，产品品种类型繁多。半导体工业中应用的有 110多种电子特气，常用的有 30 种左右，可大致分为刻蚀/清洗用气体、离子注入气体、气相沉积用气体、掺杂气体、清洗用气体等，被称为电子工业的“血液”和“粮食”。

  电子特气的需求大多分布在在集成电路、显示面板、光伏和 LED四大领域。从全球需求结构来看，集成电路是的电子特气最主要的应用领域，占市场总需求的 71%，显示面板领域需求位居第二，占 18%。从我国需求来看，集成电路领域仍是最主要的应用领域，需求占比 42%，显示面板领域需求占比 37%。

  我国集成电路领域对电子特气的需求占比相比来说较低，一方面由于我国的集成电路产业技术水平和产业规模与世界领先水平相比存在一定差距，另一方面我国显示面板产业较为发达，对电子特气需求呈旺盛态势。

  在5G 通讯、智能终端、汽车电子等新兴领域的带动下，全球集成电路、显示面板等产业保持了稳健增长，带动了电气特气需求的增长。根据 TECHECT 数据，2017 年全球电子特气市场规模约为 36.91 亿美元，2020 年增加至 41.85 亿美元，2021 年进一步增长至 45.38 亿美元，2017 年至 2021 年复合增长率为 5.30%，预计 2025 年市场容量将超过 60 亿美元，2021年-2025 年复合增长率 7.33%。

  根据 SEMI 数据，2017 年我国电子气体市场规模为 109.3 亿元，2021 年增长至 195.8 亿元。随着双碳趋势下我国光伏产业的快速发展以及集成电路和显示面板领域的增长，有望推动我们国家电子气体需求的迅速增加。预计 2025 中国电子气体市场规模将提升到 316.60 亿元，2021年到 2025 年复合增长率达 12.77%，增速明显高于全球电子气体增长率。

  随着下游半导体领土投资力度不断加大，我国的集成电路领域需求亦迅速增加。2020 年我国集成电路电子气体市场规模为 76 亿元，2021 年增长至 85 亿元，预计 2025 年规模为 134亿元，2021 至 2025 年复合增长率为 12.05%，总体呈现迅速增加态势。

  电气特气产业发源自工业气体行业，20 世纪 60 年代开始，随着电子工业等高新技术产业的崛起与发展，带动了对电子气体及其它特殊用途的高纯气和混合气的需求。目前国际上从事电子气体业务的公司有 60 余家，主要分布在美国、日本、欧洲、韩国等地。

  从全球市场占比来看，以海外龙头林德集团、空气化工、液化空气和大阳日酸为首的四大电子特气公司占有全球 90%以上的电子气体市场占有率，市场高度集中，形成了寡头垄断的格局。这一些企业通常在下游客户建设集成电路工厂时同步建设气站和供气设施，通过现场空分制气或罐车定期配气，并借助较强的技术服务和品牌能力为集成电路公司可以提供整套气体解决方案，具有较强的市场竞争力，形成较高的技术和专利壁垒。

  在电子特气细致划分领域，部分日本企业占据了较大比重，包括昭和电工、关东电化工业、Adeka(艾迪科)、日本中央硝子(Central Glass)、住友精化、大金工业等。如高纯度氯气的主要厂商是昭和电工和 Adeka (艾迪科)；关东电化工业的 WF6(六氟化钨)全球占比 30%，CF4 (四氟化碳)和 CHF3 (三氟甲烷)全球占比 40%。

  我国电子特气产业起步较晚，国内电子特气市场主要被外资四大巨头占据。受益于上游半导体行业的快速地发展，近年来国产电子特气产业化进程持续加快，部分高端品种实现技术突破与大规模应用，与国外的技术代差逐渐缩小。例如以高纯氨、氯化氢、四氟化碳、三氟化氮等为代表的国产电子特气，在 8 英寸晶圆、太阳能电池和平板显示领域均有较好的表现。

  目前我国基本建成了品种齐全、质量接近的电子特气工业体系，从事电子气体研究和生产的企业有 40 多家，包括昊华气体、派瑞特气、南大光电、华特气体等。国内领先企业在各自细分产品上不断突破，产品在实现本土化批量供应的同时远销海外。从各企业的产品布局来看，各企业的产品布局各取所长，各具特色，有助于行业长期健康发展。

  与国外巨头相比，我国电子特气企业总体规模较小，全球市场占有率仍较低。国内能批量生产的电子特气大多分布在在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺领域所需的电子特气仅有少部分品种取得突破。

  据中国工业气体工业协会统计,目前集成电路生产用的电子特气我国仅能生产约 20%的品种。其中三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、氧化亚氮、氨气等产品的国产化程度较高，其中部分品种的国产化率超过 50%。但准分子气体（氟基混配气体，主要使用在在激光领域）等国产化率还比较低。

  随着国内集成电路的加快速度进行发展与国家政策的大力扶持，国内电子特气产业高质量发展所需配套技术、原料、工程等不断成熟，人才储备和知识产权布局收效明显，对推动电子特气产业的国产替代提供了有利条件。由于本土电子特气厂商扩能速度快，人工及原材料成本低，有关技术突破后的产品将极具竞争力，未来的市场空间广阔。

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