中科芯请求根据机器学习的集成电路工艺参数优化专利提高集成电路工艺参数优化作用
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中科芯请求根据机器学习的集成电路工艺参数优化专利提高集成电路工艺参数优化作用

2024-12-10 3C-SMT行业
  • 产品概述

  金融界2024年12月5日音讯,国家常识产权局信息数据显现,中科芯(姑苏)微电子科技有限公司请求一项名为“根据机器学习的集成电路工艺参数优化办法及体系”的专利,公开号 CN 119067028 A ,请求日期为 2024年11月 。

  专利摘要显现,本发明供给一种根据机器学习的集成电路工艺参数优化办法及体系,触及集成电路技术领域,包含:获取制程历史数据,构建制程工艺常识图谱求解实体和联系间的语义相似性,提取要害工艺常识并构建先验常识库;确认工艺参数与良品率之间的因果依靠联系,设置因果特征挑选原则,挑选要害因果特征子集,扩大制程工艺常识图谱,构建异构模型集成并确认工艺参数与良品率的动态改变构建多方针优化模型并设置优化方针,进行工艺参数优化求解,生成优化工艺参数并进行搬迁学习,对工艺节点作比较和映射,构建虚拟仿真体系并进行因果干涉,生成工艺参数优化决议计划并批改贝叶斯因果模型。

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