金融界 2024 年 8 月 20 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,深圳市联合蓝海使用资料科技股份有限公司取得一项名为“进步化合物半导体器材背孔导热功能的办法及相应产品“,授权公告号 CN118326466B,请求日期为 2024 年 6 月。
专利摘要显现,本发明公开了一种进步化合物半导体器材背孔导热功能的办法及相应产品,归于电镀技术领域。办法有以下过程:S1 对化合物半导体器材预处理,在背孔内构成金属种子层;S2 预备金属电镀液;S3 将过程 S1 预处理后的化合物半导体器材放入过程 S2 的金属电镀液中,选用周期电镀的办法取得电镀金属层;所述周期电镀的工艺参数包含:大电流密度及其时刻周期,小电流密度及其时刻周期。本发明供给的办法,既能大大的提高背孔孔内填充率,又能调理电镀金属表面粗糙度,然后明显进步化合物半导体背孔导热功能,易于操作和完成,一起不影响出产功率。