11月5日下午，半导体要害零部件研制出产基地暨泛半导体工业设备研制总部签约典礼在合肥举办，包河区与高芯众科半导体有限公司(以下简称高芯众科）等公司签约协作。
据悉，高芯众科是一家泛半导体职业高新技能企业，专心于真空腔体中心零部件制作，特别精细涂层技能，涂层中心资料研制及出产。高芯众科拟在包河经开区出资建造半导体要害零部件国产化研制出产基地。该项目主要是做半导体高纯度陶瓷零部件、半导体精细加工硅零部件、液晶面板设备要害零部件、等离子特别涂层、真空机器人及阀门等半导体中心零部件及原资料出产研制产线的建造。（谢文君 文/图）
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