金融界2024年9月26日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司获得一项名为“一种堆积设备”的专利，授权公告号CN 221759974 U，请求日期为2024年2月。
专利摘要显现，本请求供给一种堆积设备，所述堆积设备包含：反响腔；主进气管路，连通所述反响腔，所述主进气管路上设置有过滤器；第一支进气管路，连通所述主进气管路；第二支进气管路，连通所述主进气管路。本请求供给一种堆积设备，对进气管路进行改善，可以尽可能的避免TEOS工艺后晶圆外表呈现缺点。
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